设备要求
设备有一个 XY 平台,共有超过 15 个运动轴。 晶圆探针检测需要非常精准的测量,因此必须保证系统内的电磁噪声超小。 客户不希望采用体积庞大、价格昂贵且需要大量时间来开发、组装和测试的外部 EMI 滤波组件。
此外,他们希望运动整定时间小于 30 毫秒和静止抖动小于 100 纳米,同时提高整体机器产能。
Elmo Motion 控制解决方案包括:
- Gold Solo Bell 伺服驱动器
- Platinum Maestro 多轴运动控制器
客户选择了 Gold Solo Bell 伺服驱动器,因为它足够小,可以安装在机器内和移动负载上,并且足够坚固,可以承受机械冲击和高加速度。 将驱动器安装在机器内部无需电缆和电缆载体进出机器,并且无需电气柜,这些使得整个机器尺寸减少了大约 30%。.
使用Gold Solo Bell,机器的运动整定时间减少到10ms以下,静止抖动小于20nm,大大低于要求。 该驱动器的极高功率转换效率使机器本身更加高效,无需使用需要持续维护的耗能冷却方法。 由于 Elmo 的 EMI 可以忽略不计,无需笨重、昂贵的滤波器,从而使得机器更精简、性能更好。 客户无需投入时间和精力来开发和测试用于复杂环境的 EMI 降低解决方案,就能够实现所需的性能。
Platinum Maestro 被选为机器运动轴的主控制器。 卓越的伺服驱动器和多轴控制能力相结合,缩短了探针之间的时间,显着提高了整体产能。
结果
使用 Elmo 产品处理所有运动控制,客户能够以更低的成本制造出性能更好的、尺寸更小的机器。晶圆探针测试机开发人员不需要外部设备来减少电磁干扰或外部冷却和通风组件,Elmo 的运动控制解决方案显著节省了成本与精力。
Elmo 驱动器运行效率高、 EMI忽略不计和运行稳定,让您在无需改变任何现有机器机械状况的情况下,通过专注于更好的伺服驱动控制,创新运动技术,从而降低成本,同时显著提高整体机器生产力。